电液脉冲伺服油缸
　　
　　1、概述
　　电液脉冲伺服油缸亦称电液步进缸。常规位置和速度的数字控制是用电液步进马达扭动丝杠副拖动来完成，但考虑传动部件的间隙及结构柔度会使控制精度降低。电液脉冲伺服油缸正是为了适应中小行程的数字位置和速度控制而研制的。由于内部附加机械反馈机构故在液压系统中呈现开环控制，所以该产品使用简单非常方便。
　　
　　一九九0年我们同中科院沈阳机器人中心为高速步行机器人配套共同研制高速电液脉冲伺服油缸。其特点是将以往电液脉冲伺服油缸的速度提高了一个数量级，即每个电脉冲可达0.1~0.2mm。真正使电液脉冲伺服油缸达到工业适用阶段。下面是中科院沈阳机器人中心将电液脉冲伺服油缸应用于高速行走机械人的情况。图一为电液脉冲伺服油缸脉冲油缸，当年即获zhuanli权。图二为"七·五"公关项目"海蟹号水下六足步行机器人"，它可潜深300米，在水底面上行走，它采用有缆方式控制。它上面共安装有七台电液脉冲伺服油缸。它是我国台水下六足步行机器人。、图三为"海蟹号水下六足步行机器人"在1991年第六届发明展览会上获得奖的证书。图四为"海蟹号水下六足步行机器人"在1992年"匹兹堡国际博览会"上获得的金奖，同时获得大会主席奖。
　　
　　2、工作原理
　　电液脉冲伺服油缸是由步进电机、三位四通伺服阀、机械反馈装置（丝扛副）和油杠组成。当步进电机得到一个脉冲信号时其输出轴旋转1.5或3度角度，伺服阀阀芯带动丝扛同时旋转，阀芯移动并开口换向油缸输出压力油，活塞移动并带动丝杠反向旋转使阀芯退回原位，伺服阀复中位停止输出压力油。此时油缸移动0.1或0.2mm行程，油缸行进的位移量和速度是根据电脉冲的给定值决定。